進行中のプロジェクト
共同研究
imec（ベルギー）
海外デバイスメーカー
半導体装置メーカー
半導体材料メーカー
産業技術総合研究所
国内の大学 多数
学術指導申し込み
2021年度は暫定的に半導体材料メーカーを中心に複数社と学術指導申し込み(先端半導体開発に関する議論/話題提供)を行っておりましたが、2022年度以降は3DHIに注力のため行っておりません。
競争的研究資金
- JST 戦略的創造研究推進事業（さきがけ）2022-2026
- JSPS 基盤研究B 2023-2026
- JSPS 卓越研究員事業 2021-2025
- NEDO ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発
- 民間共同研究助成公募 大型共同研究 2022-2025 (年間1500万円以上、半導体大手装置メーカーとの大型共同研究)
- 国際(三者間)共同研究契約(Joint Development Project) 2022-2024
研究室設備
300mmウエハ対応
不活性雰囲気下 接合強度測定装置
超音波顕微鏡(SAM)
リフロー炉
膜厚測定装置
表面接触角、表面エネルギー測定装置
評価装置
機械実験室
ナノインデンター
4点/3点曲げ試験装置
UHV直接接合装置
化学実験室
CMP装置
めっき装置
ゼータポテンシャル測定装置
ポテンシオスタット
回転電極
ダイナミック電気化学測装置
導入予定
ポストCMP洗浄装置
EM測定装置
TDDB測定装置(300mmウエハ対応フルオートプローバ)
その他随時更新中