進行中のプロジェクト
共同研究
imec（ベルギー）
海外デバイスメーカー
半導体装置メーカー
半導体材料メーカー
国内の大学 多数
競争的研究資金
- JST 戦略的創造研究推進事業（さきがけ）2022-2026
- JST A-STEP 産学共同 ステージⅡ（本格フェーズ）2024-2029
- JSPS 基盤研究B 2023-2026
- JSPS 卓越研究員事業 2021-2025
- NEDO ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発
- NEDO ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発(委託)／Beyond2nm及び短TAT半導体製造に向けた技術開発先端半導体 (共同実施先)
- 民間共同研究助成公募 大型共同研究 2022-2025 (年間1500万円以上、半導体大手装置メーカーとの大型共同研究)
- 国際(三者間)共同研究契約(Joint Development Project) 2022-2024, 2024-2026
研究室設備
300mmウエハ対応
不活性雰囲気下 接合強度測定装置
超音波顕微鏡(SAM)
リフロー炉
膜厚測定装置
表面接触角、表面エネルギー測定装置
４探針プローバ
評価装置
機械実験室
ナノインデンター
4点/3点曲げ試験装置
UHV直接接合装置
化学実験室
CMP装置
めっき装置
ゼータポテンシャル測定装置
ポテンシオスタット
回転電極
ダイナミック電気化学測装置
ポストCMP洗浄装置
導入予定
EM測定装置
TDDB測定装置(300mmウエハ対応フルオートプローバ)
顕微ラマン測定装置(300mmウエハ対応)
その他随時更新中