2022年01月19日 / Last updated : 2022年01月19日 NEWS Surface Planerに関する論文がThe International Journal of Advanced Manufacturing Technologyに採択されました 有機材料の平坦化はパッケージ微細化にとって重要技術です。 有機材の「研磨」は非常に難しく、超精密切削加工が有利です。 この論文ではその超精密切削加工であるSurface Planer技術をCuピラーとBGテープの平坦化に […]
2022年01月04日 / Last updated : 2022年01月04日 NEWS 2022年、飛躍の年に！ あけましておめでとうございます。 研究室としては2021年は結局「助走の年」になってしまいましたが、おかげで多くの新たな経験と共に今後ご一緒できる仲間を得ました。 時流も半導体研究にとって非常に強い追い風が吹いています。 […]
2021年12月23日 / Last updated : 2022年01月04日 NEWS 学生室をリノベーション中です 私たちの学生/研究員居室はゆずり受けた当初は昭和時代に購入したであろう机がならぶ(汚い)部屋でした。 学生には長い間我慢いただきましたが、2021年末についに床のカーペットを施工。(少しおしゃれにしました。) さらに家具 […]
2021年11月26日 / Last updated : 2021年11月26日 NEWS Hybrid bondingに関する論文がIEEE EDSに採択されました W2Wハイブリッドボンディングに関する論文がIEEE Electron Device Lettersに採択されました。 DOI10.1109/LED.2021.3124960 この論文は1.4μmピッチという世界でも最小 […]
